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薄膜技術の研究開発動向 2019年春の応用物理学会より

薄膜技術関連の研究開発の動向を2019年春の応用物理学会の予稿集からピックアップしました。

以下のセッションになります。

6 薄膜・表面

 6.1 強誘電体薄膜
 6.2 カーボン系薄膜
 6.3 酸化物エレクトロニクス
 6.4 薄膜新材料
 6.5 表面物理・真空
 6.6 プローブ顕微鏡

それぞれの発表件数をまとめると、以下のような件数になります。

項目 件数
強誘電体薄膜 25
カーボン系薄膜 45
酸化物エレクトロニクス 45
薄膜新材料 37
表面物理・真空 6
プローブ顕微鏡 43
合計 201

 

材料の点から簡単にコメントします。

強誘電体関連はメモリからアクチュエータ、センサまで様々な用途があり盛んに研究されています。また強誘電体関連の材料の酸化物エレクトロニクスの中にも何件かあります。強誘電体材料のセッションでは、いわゆるPb系(PZTなど)の強誘電体よりも非鉛系の研究の方が圧倒的に多くなっています。産業界ではPb系の応用が主流なのですが、学術的には新しい材料とその物性の調査/研究が主流となっています。この部分に関しては別途述べていきたいと思います。

カーボン系の材料は、高い強度を持つDLC(ダイヤモンドライクカーボン)や窒化炭素などの研究、半導体材料としてのダイヤモンドに関しての研究が盛んです。

酸化物エレクトロニクスでは、以前は透明導電膜系の発表が多かったと思うのですが、今は多種多様になっており透明導電膜のほか、酸化物半導体、太陽電池、メモリ材料、Liイオン電池関連などの発表がありました。

薄膜新材料に関しては、色素増感太陽電池関連、液中プラズマによる酸化物膜の形成、断熱材料、金属系のセンサ材料、光触媒等々です。特にこのセッションでは薄膜の新しい作成方法に関しても発表があります。産業界としては新規な製法により大幅なコストダウンや性能アップ、さらには、従来出来なかったものが作成できるようになると価値が高いと思っています。学会ですので、その原理のところがわかってくると面白く期待しています。

以上

 

 

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